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二氯硅烷
类型
化学品英文名
dichlorosilane
CAS号
分子式
SiH2Cl2
分子量
101.01
密度
气体密度4.599g/L；液体相对密度1.42（-122℃）
容点
-122
沸点
8.3
闪点
粘度
0.307（7℃）
蒸气压
折射率
毒性
性状
常温常压下为无色气体，市售品为装在容器中的无色透明液体（压力0.03～0.18MPa）。
溶解情况
用途
主要用作半导体外延材料；化学蒸镀用气源。
制备或来源
（1）硅和盐酸蒸气反应；（2）四氯化硅和甲醛反应。
备注
在潮湿空气中可以水解，而产生白色氯化氢烟雾。与空气形成爆炸混合物，爆炸极限4.1%～98.8%（体积分数）。能与格式试剂起反应。
包装及贮运
生产单位

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